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運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)驅(qū)動(dòng)器電機(jī)執(zhí)行器|電動(dòng)推桿|電動(dòng)缸直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)高精密定位平臺(tái)行星減速機(jī)直線軸承和直線導(dǎo)軌滾珠絲杠和梯形絲杠精密滾珠測(cè)量反饋裝置精密電主軸機(jī)器人關(guān)節(jié)模組
機(jī)器人運(yùn)動(dòng)控制半導(dǎo)體設(shè)備與材料物料搬運(yùn)工廠自動(dòng)化包裝和紙品加工醫(yī)療和實(shí)驗(yàn)室自動(dòng)化精密金屬成型包裝食品加工醫(yī)療與健康非高速路車輛機(jī)床印刷食品和飲料輪胎和橡膠航空和國(guó)防制藥郵政分揀城市交通運(yùn)輸解決方案電動(dòng)叉車和叉車石油和天然氣航天航空及國(guó)防清潔能源自動(dòng)導(dǎo)引車輛(AGV)
全部資料驅(qū)動(dòng)器電機(jī)執(zhí)行器|電動(dòng)推桿|電動(dòng)缸直線運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)高精密定位平臺(tái)行星減速機(jī)直線軸承和直線導(dǎo)軌滾珠絲杠和梯形絲杠運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)機(jī)器人關(guān)節(jié)模組其他相關(guān)資料
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半導(dǎo)體設(shè)備與材料
在刻蝕、PVD、晶圓清洗、晶圓搬運(yùn)、貼片等半導(dǎo)體生成制造工藝中,您總能找到科爾摩根半導(dǎo)領(lǐng)域運(yùn)動(dòng)控制解決方案的身影。憑借獨(dú)特的高性能運(yùn)動(dòng)控制技術(shù),科爾摩根成為眾多半導(dǎo)體龍頭企業(yè)的選擇。



直驅(qū)技術(shù)在半導(dǎo)體設(shè)備的成功案例

以5G、人工智能、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)為代表的“新基建”正火如荼地開展,而以半導(dǎo)體芯片和平板顯示器等高科技產(chǎn)品的研發(fā)和生產(chǎn)則是支撐其蓬勃發(fā)展的重要基石。Hero behind Hero,作為英雄背后的英雄,無(wú)論是在刻蝕、PVD、晶圓清洗、晶圓搬運(yùn)、貼片等半導(dǎo)體生成制造工藝中,您也總能找到科爾摩根的身影。

憑借獨(dú)特的高性能直驅(qū)運(yùn)動(dòng)控制技術(shù),科爾摩根成為眾多半導(dǎo)體生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備龍頭企業(yè)的選擇。下面,就讓我們通過(guò)幾個(gè)應(yīng)用案例來(lái)揭秘科爾摩根卓越的半導(dǎo)體設(shè)備直驅(qū)運(yùn)動(dòng)控制解決方案能為客戶帶來(lái)什么價(jià)值吧!



半導(dǎo)體設(shè)備解決方案核心優(yōu)勢(shì):
● 獨(dú)特的高性能控制器方案――高精度龍門控制算法及多軸高速同步控制
● 業(yè)界領(lǐng)先的直驅(qū)技術(shù)――直驅(qū)電機(jī)實(shí)現(xiàn)高速、高精度定位
● 直接驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)精密軌跡控制――簡(jiǎn)化設(shè)備結(jié)構(gòu),并提高設(shè)備性能
● 產(chǎn)品技術(shù)方案穩(wěn)定可靠――擁有全球成熟的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)及本地專業(yè)技術(shù)能力



CMP化學(xué)機(jī)械研磨機(jī)


針對(duì)該研磨設(shè)備所面臨的性能瓶頸,科爾摩根為其提供了驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)和研磨頭的16軸系統(tǒng)方案,方案集成了科爾摩根的明星產(chǎn)品直驅(qū)電機(jī)DDR和高性能標(biāo)準(zhǔn)伺服電機(jī)AKM。電機(jī)優(yōu)化的電磁設(shè)計(jì)有效降低了齒槽效應(yīng),減少了速度波動(dòng)。同時(shí),緊湊的電機(jī)尺寸節(jié)省了更多安裝空間。而且,熱替換功能允許在不關(guān)閉網(wǎng)絡(luò)的情況下替換節(jié)點(diǎn),進(jìn)一步減少了停機(jī)時(shí)間。 最終,方案幫助用戶實(shí)現(xiàn)了用于300mm以及65nm晶圓加工的研磨設(shè)備技術(shù)要求,實(shí)現(xiàn)了多軸數(shù)緊密協(xié)同控制,且運(yùn)動(dòng)控制可按照要求定制軌跡,幫助設(shè)備獲得了高可靠性和安全性,以及確保零停機(jī)時(shí)間。



晶圓搬運(yùn)機(jī)器人


面對(duì)客戶現(xiàn)有設(shè)備的諸多實(shí)際應(yīng)用痛點(diǎn),如電機(jī)安裝在真空環(huán)境中的發(fā)熱控制,電機(jī)的真空度適應(yīng)能力提升,中心力矩電機(jī)控制需適應(yīng)機(jī)器人不同位置和負(fù)載重量帶來(lái)的負(fù)載慣量動(dòng)態(tài)變化,以及實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)模塊之間的協(xié)同運(yùn)動(dòng)極為平穩(wěn)可靠等要求,科爾摩根技術(shù)專家為其推薦了高性能的KBM無(wú)框直驅(qū)電機(jī)匹配AKD伺服驅(qū)動(dòng)器的解決方案。定制化的KBM無(wú)框直驅(qū)電機(jī)方案,節(jié)省了設(shè)備約40%的安裝空間。同時(shí),控制器提供反向運(yùn)動(dòng)學(xué)算法及抑振算法,保障了晶圓搬運(yùn)機(jī)器人的高速平穩(wěn)運(yùn)行,且實(shí)時(shí)軌跡修改實(shí)現(xiàn)了平穩(wěn)軌跡運(yùn)動(dòng)。另外,雙二階濾波器,電機(jī)斜槽設(shè)計(jì)等手段最大程度減少了轉(zhuǎn)矩紋波,全方位提高了設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)力。


憑借超過(guò)70多年的運(yùn)動(dòng)控制經(jīng)驗(yàn),全球化的設(shè)計(jì)方案,靈活的定制能力,以及本土化的快速供貨,科爾摩根在半導(dǎo)體行業(yè)的眾多機(jī)型,比如晶圓激光檢測(cè)機(jī)、光阻涂布機(jī)、晶圓分選機(jī)、覆晶貼片機(jī)、X光檢測(cè)系統(tǒng)、MENS慣性傳感器測(cè)試機(jī)以及SMT 高速貼片機(jī)等設(shè)備類型上都有著成熟的應(yīng)用經(jīng)驗(yàn)??茽柲Ω彬?qū)技術(shù)是您改善設(shè)備性能、提高設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)力的不二選擇。


AKD 驅(qū)動(dòng)器
Advanced Kollmorgen Drive? (AKD) 科爾摩根 Kollmorgen AKD? 是一個(gè)完整系列的基于以太網(wǎng)的伺服驅(qū)動(dòng)器,它具備快速、功能豐富、靈活、快速集成、易于使用等優(yōu)點(diǎn),適合任何應(yīng)用。AKD 采用即插即用式的調(diào)試方法,可確保即時(shí)、無(wú)縫地操作您機(jī)器中的每個(gè)部件。并且,...    查看詳情…
AKM? 系列伺服電機(jī)
我們廣泛的標(biāo)準(zhǔn)配置提供與定制解決方案相同的優(yōu)勢(shì)
擁有超過(guò) 500,000 種標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品和幾乎無(wú)限的聯(lián)合工程修改解決方案,選擇合適的電機(jī)――針對(duì)您的特定應(yīng)用要求進(jìn)行優(yōu)化――從未如此簡(jiǎn)單。<...    查看詳情…
KBM 系列無(wú)框力矩電機(jī)

KBM無(wú)框力矩電機(jī)系列采用了我們新的直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)。KBM系列無(wú)框電機(jī)憑借多種多樣的規(guī)格和轉(zhuǎn)矩,為當(dāng)今的設(shè)計(jì)工程師提供了所需的高性能、長(zhǎng)壽命和便捷的安裝??蛇x的封閉數(shù)字式霍爾效應(yīng)傳感器經(jīng)過(guò)預(yù)先調(diào)整并安裝有增長(zhǎng)的軸向轉(zhuǎn)子,以實(shí)現(xiàn)適當(dāng)?shù)挠|發(fā)。 不同的絕緣選擇可實(shí)現(xiàn)在廣泛的線路輸入電壓下工作。 ...    查看詳情…

TBM 系列無(wú)框力矩電機(jī)
TBM 無(wú)框電機(jī)是一個(gè)新的直接驅(qū)動(dòng)力矩電機(jī)系列,TBM系列無(wú)刷力矩電機(jī)設(shè)計(jì)用于需要高功率、輕重量、低慣量、小型緊湊外形的應(yīng)用。TBM(S) 產(chǎn)品典型的應(yīng)用包括機(jī)器人關(guān)節(jié)、醫(yī)療機(jī)器人、武器站、羅盤等傳感器平衡環(huán)、傳感器萬(wàn)向節(jié)、制導(dǎo)系統(tǒng)、觀瞄系統(tǒng)、無(wú)人機(jī)推進(jìn)系統(tǒng)和導(dǎo)航等關(guān)鍵運(yùn)動(dòng)控制應(yīng)用,以及其他許多應(yīng)用...    查看詳情…
自動(dòng)化平臺(tái)
我們一流的機(jī)器自動(dòng)化解決方案將高度集成且直觀的軟件編程環(huán)境、一流的運(yùn)動(dòng)組件和卓越的協(xié)同工程服務(wù)整合在一起,可幫助您構(gòu)建高度差異化的機(jī)器。    查看詳情…
DDR 轉(zhuǎn)臺(tái)力矩電機(jī)

直驅(qū)技術(shù)方面,Kollmorgen具有70 多年的電磁和機(jī)電設(shè)計(jì)專業(yè)經(jīng)驗(yàn),這些經(jīng)驗(yàn)均應(yīng)用于科爾摩根金線(GOLDLINE®) DDR 電機(jī)產(chǎn)品線中。科爾摩根GOLDLINE®直接驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn) (DDR) 電機(jī)提供了一種高性能、零維護(hù)伺服解決方案。

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