陶瓷電機驅動納米定位平臺
從2001年開始ALIO Industries 伴隨著“a better way”的理念去應對21世紀納米和微米級精度的機器人技術的需求。這個最初的想法已經(jīng)演變成一個常規(guī)產(chǎn)品線，包括：六腳機器人系統(tǒng)、空氣軸承系統(tǒng)和機械軸承的直線和旋轉的納米級精度系統(tǒng)，這些產(chǎn)品可應用于大氣、潔凈室和超高真空室環(huán)境。
ALIO是一個納米技術運動系統(tǒng)領域的創(chuàng)新者。ALIO的設計已經(jīng)超越了當前自動化技術領域標準的精密產(chǎn)品設計。持有6軸并聯(lián)腳架機器人和3軸并聯(lián)腳架機器人兩項特殊設計，ALIO已經(jīng)建立了nano 精度產(chǎn)品的設計平臺。
ALIO的直線和旋轉平臺產(chǎn)品線設計成本效能合算并且很好的補充了高分辨率、極高精度運動的市場需求。這些成功的應用可以用于普通大氣環(huán)境、潔凈室和真空室環(huán)境。ALIO的轉臺設計能夠用于單獨的運動或堆疊的各種連續(xù)運動的運動學結構。
ALIO已經(jīng)開發(fā)了一系列用于極高精度應用的標準的和客戶訂制的高分辨率空氣軸承平臺。根據(jù)應用需求這些訂制的堅固耐用的平臺與我們高剛性的和速度從1 微米/秒到超過1 米/秒的標準產(chǎn)品一樣可以提供5納米分辨率的性能。這些空氣軸承平臺非常適合那些先進的FPD和半導體的度量衡、加工和維修所需要的平滑而精密的運動。
