TONiC RELM直線光柵系統(tǒng)
RELM因鋼柵尺的膨脹系數(shù)為~0.6 µm/m/°C，有各種長度可供選擇。 堅固的因鋼柵尺比傳統(tǒng)玻璃柵尺具有更小的截面尺寸，但操作和安裝更為簡便，沒有破損的風(fēng)險。RELM系統(tǒng)精度達(dá)±1 µm，分辨率達(dá)5 nm，能夠滿足苛刻的精密運動的需求。
RELM因鋼柵尺的膨脹系數(shù)為~0.6 µm/m/°C，有各種長度可供選擇。 堅固的因鋼柵尺比傳統(tǒng)玻璃柵尺具有更小的截面尺寸，但操作和安裝更為簡便，沒有破損的風(fēng)險。RELM系統(tǒng)精度達(dá)±1 µm，分辨率達(dá)5 nm，能夠滿足苛刻的精密運動的需求。